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逢甲大學

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電漿工程實驗室

指導老師:何主亮特聘教授

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本實驗室致力於開發薄膜製程的應用,依薄膜功能可分為裝飾性塗層、工具鍍硬塗層、光學性塗層、生物相容性塗層及透明導電塗層等

什麼是電漿科技

電漿科技無所不在

電漿是固態、液態及氣態以外的第四態,自然中觀察到的閃電、極光也是電漿現象。隨著科技產業快速發展,人造電漿開始問世,發展出各種電漿技術,並被廣泛應用於半導體、生醫、綠能、光電等產業。

核心技術

電漿製程 表面分析 生醫材料表面改質 電漿應用

Plasma processing
Surface characterization
Biomedical surface modification
Plasma application

研究目標

讓我們的生活更美好

配合國家產業政策,提出「智慧光機電」、「健康生照養」及「綠能循環經濟」三大主軸,打造從工業智慧生產到健康長照的基石,落實電漿科技在這三大主軸的應用。

實驗設備

高功率脈衝磁控濺鍍 (High power impulse magnetron sputtering, HIPIMS)
電弧離子鍍 (Arc ion plating, AIP) 及電漿輔助化學氣相沉積 (Plasma enhanced chemical vapor deposition , PECVD) 技術
全球唯一的捲對捲氣流濺鍍 (Roll-to-roll gas flow sputtering) 系統

研究成果與應用

薄膜功能可分為裝飾性塗層、工具鍍硬塗層、光學性塗層、生物相容性塗層及透明導電塗層

裝飾性塗層:在五金元件或塑膠件上鍍上不同的顏色,作為裝飾用途。例如:彩色鍊片
工具鍍硬塗層:應用於刀具及模具等,提高硬度、耐磨性及耐腐蝕性來延長使用壽命。例如:剪刀、衛浴五金。
生物相容性塗層:對高分子材料進行表面改質,改善其生物相容性,常見材料有鈦及鈦合金。例如:鍍鈦脊椎間支架。
光學性塗層:用來改變光波的穿透、反射、吸收及散射特性或以塗層的光學性質進行應用。例如:光觸媒風扇。
透明導電塗層:具備高穿透度、高導電度,依照種類可分為金屬薄膜及金屬氧化物薄膜,應用於液晶顯示器或太陽能電池等。
其他種類塗層:抗菌金屬塗層、疏水塗層、疏油塗層等。

國際交流與產學合作

國際合作


廠商輔導/協助產業發展


產學合作計畫


聯合實驗室夥伴


新聞報導