師資
特約講座
Nobuya Hayashi
特約講座
河合良信
河合良信
特約講座
研究專長
電漿蝕刻，薄膜製程，Electron Beam Plasma 應用
學歷
Nagoya University / Physics, Graduate School of Science 博士
特約講座
Ralf Bandorf
特約講座
David-Thomas Allan Matthews
David-Thomas Allan Matthews
特約講座
學歷
University of Groningen / Applied Physics/Materials Science 博士