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河合良信

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研究專長

電漿蝕刻,薄膜製程,Electron Beam Plasma 應用

學歷

Nagoya University / Physics, Graduate School of Science 博士

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David-Thomas Allan Matthews

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學歷

University of Groningen / Applied Physics/Materials Science 博士

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Ralf Bandorf

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學歷

Technical University Braunschweig / Mechanical Engineering 博士

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