何主亮教授與德國國際級研究單位共同合作.推動真空電漿鍍膜智能化

【材料系訊】真空電漿製程為當今科技發展的關鍵技術之一，從民生工業、半導體業，乃至物聯網及健康長照等，皆可見其於各大領域之足跡。其中，先進的鍍膜系統及新穎鍍膜材料開發更謂奠定未來科技發展之基石。此外，在工業4.0帶來智慧製造時代的同時，真空電漿鍍膜設備勢必也得與時俱進。如何將高密度電漿技術之基礎研究滲透到產業界應用，甚至賦予真空電漿鍍膜設備具有智慧監控及主動回饋之智能化功能，使整體製程達到長時間及批次間穩定，將是時勢所趨。

逢甲大學電漿科技研究中心深耕高密度電漿鍍膜技術及培育優秀電漿科技人才多年，並期許能帶動電漿科技相關產業發展。為此，本系何主亮教授、陳瑛鴻助理教授及謝秉諺助理教授透過經濟部A+企業創新研發淬鍊計畫：臺德創新研發合作，逢甲大學電漿科技研究中心與大永真空設備股份有限公司，夥同德國合作夥伴：Technical University of Braunschweig、Fraunhofer IST及PLASUS GmbH，共同提案並執行「智慧監控實現於高密度電漿量產設備之製程技術開發」計畫，藉由導入先進智慧電漿光譜控制技術、電漿量產設備開發及高密度電漿鍍膜製程，以開發具有智慧監控之高密度電漿鍍膜量產設備。此項合作計畫不但促成國內外產學研單位之整合及專業互補外，後續成果將接軌工業4.0，使真空電漿鍍膜設備及其產品朝向尖端高價值，帶動國內外相關產業之發展，並為台灣真空電漿鍍膜產業帶來科技突破。